南大光電具有自主知識產(chǎn)權(quán)的TMA自制產(chǎn)品正式下線并圓滿完成首銷,一舉打破了我國在TMA合成方面的長期空白。
南大微電子一期安裝工程主體完工。
南大光電《電子半導(dǎo)體材料(MO源和離子注入氣體)》榮膺2021年 工信部“第六批制造業(yè)單項冠軍”。
南大光電“先進(jìn)光刻膠產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目通過驗收。
南大光電與烏蘭察布市合作建設(shè)的內(nèi)蒙古烏蘭察布氟硅電子新材料基地暨南大微電子材料項目開工。
烏蘭察布南大微電子材料有限公司成立。
· 南大光電成為全國首個電子材料民營企業(yè)購置193nm浸沒式光刻機(jī),光刻膠產(chǎn)業(yè)邁向新階段。
· 光刻膠第二條生產(chǎn)線建成。
光刻膠第一條生產(chǎn)線建成。
南大光電與寧波經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)就先進(jìn)光刻膠原材料及配套材料開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目再次簽訂合作協(xié)議。
投資并購山東飛源氣體有限公司,進(jìn)入大宗氟化類電子特氣領(lǐng)域。
南大光電半導(dǎo)體材料有限公司成立。
· 獲得國家“02-專項”ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目立項。
· 同期,年產(chǎn)170噸MO源和高K三甲基鋁項目落地全椒,籌備成立南大光電半導(dǎo)體材料有限公司。
與寧波經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)簽訂投資協(xié)議,注冊成立“寧波南大光電材料有限公司”,負(fù) 責(zé)“02-專項”ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目落地實施。
· 獲國家“02-專項”193nm 光刻膠及配套材料關(guān)鍵技術(shù)的開發(fā)項目立項。
· 建成8條ALD/CVD前驅(qū)體系列產(chǎn)品生產(chǎn)線,已有部分產(chǎn)品通過知名客戶驗證并具備批量供貨能力。
· 引進(jìn)高K三甲基鋁先進(jìn)生產(chǎn)線。
公司召開2016年度股東大會,選舉產(chǎn)生了公司第七屆董事會,正式進(jìn)入“二次創(chuàng)業(yè)”期。
承擔(dān)國家“02-專項”ALD金屬有機(jī)前驅(qū)體產(chǎn)品的開發(fā)和安全離子注入產(chǎn)品開發(fā)項目。
全椒南大光電材料有限公司成立。
獲國家“02-專項”高純特種電子氣體研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目立項支持,啟動極大規(guī)模集成電路砷烷、磷烷等特種氣體的研發(fā)工作,用3年時間攻克了國內(nèi)30年未能解決的課題。
南大光電在深交所創(chuàng)業(yè)板上市。
MO源產(chǎn)品被列為“國家重點新產(chǎn)品”。
MO源項目被國家計委列為“高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化示范工程光電子專項項目(MO源)”。
高純金屬有機(jī)化合物(MO源)獲得科技部頒發(fā)的“國家級火炬計劃項目證書”。
12月28日,江蘇南大光電材料股份有限公司正式注冊成立。
“高純金屬有機(jī)化合物(MO源)光電子材料的支撐原材料”課題獲國家教委“科 技進(jìn)步二等獎”。
南大MO源研究課題組被國家科技部提升為國家級研發(fā)中心并命名為“國家‘863計劃’新材料MO源研究開發(fā)中心”。
課題開發(fā)取得突破性進(jìn)展,研制出高純?nèi)谆R產(chǎn)品
公司創(chuàng)始人孫祥禎教授的“MO源研究課題”納入國家“863計劃”